臭氧脫硝系統主要由制氧系統、臭氧發生系統、臭氧噴射系統、洗滌塔系統、輔助的氣源系統、工藝水系統、安全報警系統和PLC的全自動控制系統組成。在除塵系統后部（洗滌塔前）的煙道上設有臭氧噴射系統，臭氧將煙氣中的不溶性低價氮氧化物氧化為可溶性高價態的氮氧化物NOx，之后進入洗滌塔。煙氣通過洗滌塔入口從洗滌塔漿液池上部進入吸收區，在吸收區熱煙氣與自上而下的漿液接觸發生化學吸收反應，即氮的氧化物（NOx）與氫氧化鈣反應，形成硝酸鈣，煙氣同時被冷卻。在此，煙氣中的NOx被吸收洗滌，起到脫除氮氧化物的目的。洗滌后的煙氣依次經過除霧器除去霧滴，再經凈煙道由煙囪排入大氣。輔助的安全報警系統在臭氧制備區內安裝有臭氧泄漏報警儀，當制備區域內環境中臭氧/氧氣泄露超標時，系統輸出報警信號。整個臭氧脫硝系統采用PLC的全自動控制，能夠完成脫硝裝置內所有的測量、監視、操作、自動控制、報警及保護和聯鎖、記錄等功能。

臭氧脫硝在生物質鍋爐、循環流化床鍋爐、垃圾焚燒爐、玻璃窯中小爐窯等領域具有較佳的技術經濟性，上述鍋爐機組燃燒工況極其復雜，隨著日益嚴格的環保要求，只采用SNCR已經不能滿足排放要求，必須再上一套脫硝設備，進一步降低NOx的出口排放濃度。如果采用SCR，鍋爐沒有適合SCR的溫度場，需要投入大量資金改造鍋爐，而且復雜的燃燒工況如：水汽含量高、飛灰含大量堿性成分等，將大大降低催化劑的活性，脫硝鍋爐改造成本及運行費用高昂。臭氧脫硝系統具有設備獨立性，操作靈活性，運行維護費用低等優勢，采用SNCR+臭氧脫硝設備能夠滿足鍋爐任何工況使用要求。按此工況，若采用SCR脫硝，催化劑在爐內磨損消耗，運行成本極高，若采用臭氧脫硝，只需上一套臭氧脫硝設備，臭氧按需求投加即可。如在xx公司有3×150t/h循環流化床鍋爐，鍋爐滿負荷運行時只采用SNCR即可滿足排放要求，但在正常運行中，經常有一臺鍋爐并不能帶到滿負荷，且循環切換，因此，臭氧脫硝雖然臭氧產生的成本較高，但是在某些特定運用領域經濟性明顯。