光氧等離子凈化一體機(jī)，等離子體中的離子、電子、激發(fā)太原子、分子及自由基都是極活潑的反應(yīng)性物種，使通常條件下難以進(jìn)行或速度很慢的反應(yīng)變得快速，它們再進(jìn)一步與污染物分子、離子反應(yīng)，從而使污染物得到降解，尤其有利于難降解污染物的處理。

另外 ，由于活性離子和自由基氣體放電時一些高能激發(fā)粒子向下躍遷能產(chǎn)生紫外光線，當(dāng)光子或電子的能量大于半導(dǎo)體禁帶寬度時，就會激發(fā)半導(dǎo)體內(nèi)的電子，使電子從價帶躍遷至導(dǎo)帶，形成具有很強(qiáng)活性的電子空穴對，并進(jìn)一步誘導(dǎo)一系列氧化還原反應(yīng)的進(jìn)行。

光生空穴具有很強(qiáng)的獲得電子能力，可與催化劑表面吸附的O2和H2O發(fā)生反應(yīng)生成羥基自由基，從而進(jìn)一步氧化污染物。由于等離子體放電光催化過程有大量高能電子沖擊、活性粒子、紫外線輻射等綜合因素的協(xié)同作用，因而可以更快速有效地分解空氣中有害物質(zhì)和滅菌除臭。

近年來興起的半導(dǎo)體光催化技術(shù)由于其能耗低,氧化性能強(qiáng),已有大量研究。但該技術(shù)仍存在一些缺陷,如:反應(yīng)受紫外光源限制;能量產(chǎn)率低;較難處理高濃度、大風(fēng)量的氣體等。對于這些問題的解決,研究者通過各種技術(shù)手段對光催化劑進(jìn)行改性,進(jìn)而提高光催化性能[2]。另一方面通過和各種外加場(超聲波、電化學(xué)、等離子體等)進(jìn)行耦合聯(lián)用形成新型的高效光催化反應(yīng)技術(shù),取得了顯著效果。尤其是低溫等離子體在環(huán)境污染物處理方面的應(yīng)用研究引起了人們的極大關(guān)注,被認(rèn)為是環(huán)境污染物處理領(lǐng)域中最有廣適性、最有發(fā)展前途的高新技術(shù)之一。目前,低溫等離子體技術(shù)已經(jīng)成功應(yīng)用于煙氣脫硫、脫氮、溫室氣體處理和VOCs的降解[6]。而低溫等離子體和光催化的結(jié)合不但解決了光催化技術(shù)的一些難點,并且還使低溫等離子體技術(shù)得到了優(yōu)化。其操作條件更加溫和,能耗進(jìn)一步降低,過程中的副產(chǎn)物也得到了抑制。本文作者將介紹這一新技術(shù)處理污染物的基本原理,并從去除VOCs、NOx以及殺菌等方面介紹國內(nèi)外對該技術(shù)的研究進(jìn)展。

與目前國內(nèi)常用的異味氣體治理方法（活性炭吸附、液體吸收、燃燒法及生物法等）相比較，低溫等離子體工業(yè)廢氣處理成套設(shè)備和技術(shù)具有如下特點：

1、高科技創(chuàng)新產(chǎn)品：“低溫等離子體”技術(shù)是電子、化學(xué)、催化等綜合作用下的電化學(xué)過程，是一全新的技術(shù)創(chuàng)新領(lǐng)域。是依靠等離子體在瞬間產(chǎn)生的強(qiáng)大電場能量電離、 裂解有害氣體的化學(xué)鍵能，從而破壞廢氣分子結(jié)構(gòu)，達(dá)到凈化目的。

2、高效廢氣凈化：本設(shè)備能高效去除揮發(fā)性有機(jī)物（VOC）、無機(jī)物、硫化氫、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種惡臭味，除臭效率可達(dá)98%以上，對于長期彌漫、積累的惡臭、異味，24小時內(nèi)即可祛除，并且具有強(qiáng)力