微波光催化處理技術是利用特殊的微波發生器，利用“靶向波段”技術，產生特定波段的高能光波，通過無極光源對廢氣分子鏈進行凈化的專業技術。

首先，利用引風機將污染物分子引入光催化區，大體要經歷電子轟擊——強氧化劑OH的氧化——紫外線光催化化分解——臭氧氧化——電子轟擊——強氧化劑——OH的氧化——臭氧氧化——正氧離子氧化等過程；

從結構空間上講，污染物依次經過光觸媒催化區、紫外線光解區、光觸媒催化區、氧化區、多級催化氧化結構，不但保證了催化比表面積，同時發揮了均布倒流的高能，在有限的空間最大限度保證空間上和紫外線燈的充分接觸，增加和提高活性粒子和污染物的接觸機會和時間。從微觀上講，運用波段切割、短鏈、燃燒、裂解廢氣分子鏈，改變分子結構，取值波段對廢氣分子進行催化氧化，使破壞后的分子或中子以O3進行結合，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在催化氧化過程中，轉變成低分子化合物使之變為CO2、H2O等，最后根據不同的廢氣成分配置7種以上相對應的惰性催化劑，惰性催化劑光源以下才發生催化反應，其激發出的效果類似于植物光合作用，對廢氣凈化效果